Expertengespräch zu EUV-Lithografie | Bit-Rauschen 2023/5
Bit-Rauschen: Der Prozessor-Podcast von c’t - Un podcast de c't Magazin - Les mercredis
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Chip-Fertigung benötigt modernste Lithografietechnik, etwa mit EUV-Licht. Ein Gespräch mit dem Experten Dr. Peter Kürz von ZEISS: Podcast Bit-Rauschen 2023/5.
